IONJET - Eine neue Atmosphärendruck-Plasmadüse für Reinigungs-, Aktivierungs- und Abscheidungsprozesse

 

Das IONJET ist eine Atmosphärendruck-Plasmadüse, die auf einer neuen flexiblen Mikrowellentechnologie basiert ist. Im Gegensatz zu herkömmlichen Plasmadüsen, wird hier das Plasma am Ausgang der Düse durch einer Antenne erzeugt und benötigt weder hohe Gasströme, noch hohe elektrische Leistungen. Das Plasma interagiert direkt mit der Substratoberfläche und sorgt so für eine optimale Effizienz.

Einsetzbar für spezifische Anwendungen mit Luft, Sauerstoff, Stickstoff oder Argon, eignet sich dieses Plasmadüse eignet sich besonders für die Reinigung, Aktivierung und Funktionalisierung inerter Materialien wie fluorierte Polymere, Silicon, und um bestimmte spezifischer widerstandsfähige Oberflächenverschmutzung zu entfernen. Effizient auch bei geringer Leistung durch verbesserte Mikrowellentechnologie und Designdüse, diese Plasmadüse ist energieeffizient und verbraucht wenig Gas : 200 W und 2 l / min. Diese Plasmadüse ist leise und kann in der Industrie oder in einem Labor verwendet werden.

Laufende Entwicklungen betreffen Ablagerungsprozesse von metallischen dünnen Schichten mit Pulvern und Fäden.

IonJET ist jetzt verfügbar :

Ein System, das leicht zu bedienen und zu integrieren ist durch :
  • Präzise und effiziente Behandlung durch höhere Dichte auf aktiver Spezies
  • Verwendbar mit Argon, Helium und anderem Gas auf Anfrage
  • Praktisch, einfach zu integrieren und zu verwenden
  • Automatisierungsoption sind möglich

Siehe unten, das IONJET-System und der kontrollierte Aufbau einer Kupferschicht ermöglichen das ‚Schreiben‘ von IONICS.

 

ionjet

Ionics written with a coper layer