ionGUNTM: Ionenimplanter

Was ist ein ionGUNTM?

Seit 2017 hat IONICS eine Reihe von Niederdruck-Mikrobeschleunigern (ionGUNTM) entwickelt, die einen effizienten und kostengünstigen Einsatz des Ionenstrahlimplantationsverfahrens ermöglichen. Ein ECR (Electron Cylcotron Resonance) mit einer dichten Plasmaquelle erzeugt einen mehrfach geladenen Ionenstrahl von bis zu 10 mA, der durch ein elektrisches Feld bei 35 keV auf die zu behandelnde Materialoberfläche beschleunigt wird. Es werden verschiedene reine oder gemischte Gase verwendet, um die Oberflächeneingenschaften von Metallen, Gläsern, Keramiken und Polymeren zu verbessern. Die Eindringtiefe der Ionen hängt vom Gas, der Materialzusammensetzung und -temperatur, der Energie des Strahls und dem Streuwinkel ab. Ein solches Ionenimplantationsverfahren verbessert die Oberflächenleistung und verleiht Ihrem Material neue Eigenschaften, ohne zusätzliche Beschichtungen zu erfordern.

ionGUNTM, ECR Ionenquellen :
ionGUN_schemaionGUN_equipment
 

ionGUNTM-Quellen sind kompakt und können leicht in bestehende Niederdruckanlagen oder in brandneue, vom IONICS-Ingenieurteam entwickelte Systeme eingebaut werden. Kammern im Labormaßstab und spezielle industrielle Produktionslinien stehen für Demonstrationen zur Verfügung. Die Technologie kann mit anderen Niederdrucktechnologien wie PVD- (Physical Vapor Deposition) und PECVD- (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) Verfahren kombiniert werden, um die Herstellung leistungsfähigerer Materialien mit verbesserten Eigenschaften zu ermöglichen.

Das Ionenimplantationssystem ionGUNTM verbessert die Oberflächeneigenschaften beliebiger Materialien. Oberflächenhärtung, erhöhte Korrosionsbeständigkeit, niedriger Reibungskoeffizient sind die wichtigsten Effekte, die bei behandelten Metallen, Glas, Keramik und Polymeren beobachtet werden. Die Ionenimplantationstechnologie ist ein kaltphysikalisches, kostengünstiges und umweltfreundliches Niederdruckverfahren. Potenziell relevante Märkte sind zahlreich: mechanische Teile, Motoren, Schneidwerkzeuge, biomedizinische Implantate, technische Gläser, Luxus und Design, Elastomere,...

Prozessvorteile :

  • Tieftemperatur-Oberflächenbehandlung: alle Materialien können behandelt werden, auch isolierende und temperaturempfindliche Materialien, ohne Änderung der Masseeigenschaften.
  • Keine Beschichtungen: die Materialoberfläche wird modifiziert und aufgewertet.
  • Umweltfreundlicher Trockenprozess.

 

 Detaillierte technische Eigenschaften finden Sie im untenstehenden Produktdatenblatt.